彭姣测试等离子体清洗设备。
彭姣在测试设备
在中国蜀山科里科气科创驿站─科学岛站，来自中国科学院合肥物质科学研究院的海归博士后彭姣，看好国内等离子体清洗设备市场前景，带领研究院多位博士组建科岛科林团队，自2021年开始对该设备进行国产化研发。目前，团队已实现4款等离子体清洗设备的研发，产品国产化率达到100%，在大尺寸长寿命等离子体清洗设备方面，更率先实现了内地技术突破，打破了国外垄断。
两赴德国求学积累研发经验
彭姣第一次接触到等离子体，是在大学时期一位老师的实验室里，那台由等离子体辅助制作薄膜沉积的设备，一下子吸引了她。读研究生时，她报考了国内为数不多的专注等离子体领域研究的中科院合肥物质科学研究院，主攻高温等离子体聚变方向，即“人造小太阳”托卡马克装置的研究。
在一次对研究材料表面的处理过程中，彭姣进一步了解到低温等离子体在清洁领域的应用。“我对这个领域很感兴趣，2016年在一次国际学术会议中，了解到德国一位导师有相关研究课题时，我就主动申请去做研究。”在德国，彭姣发现低温等离子体清洗设备已经应用到汽车、玻璃、材料等很多领域，这些设备在全球都形成垄断地位。为了进一步学习，她于2018年又第二次申请到德国，并获得了德国最大的科研机构亥姆霍兹联合会奖学金并从事相关博士后课题研究。
由于科研实验室相比商业应用的高要求，即便是德国高端的等离子体清洗设备，很多时候也无法满足彭姣在实验室的需求。彭姣开始尝试对设备进行技术升级，她通过请教德国研究所另一个专做光学材料研究的同学，结合他们的研究技术解决了这个问题。不仅如此，她还通过研发，为设备进行了包括提高功率、改进电路结构等很多功能的改进。
去年回国投身科技设备蓝海
2021年初，彭姣回国，她深入了解了等离子体清洗设备在国内的市场前景。在半导体产业中，仅晶圆制作过程，清洗步骤就占整个工序的30%以上。而国产设备还停留在仿制国外产品的初级阶段，使用寿命短、清洗面积小、效果不稳定，目前内地半导体厂家主要从国外进口。“市场前景是很好的，所以最终我还是选择了创业。”她说。
她介绍，现在团队研发的设备性能可以达到德国同类设备80%至90%的水平，同时通过材料的研发也使得设备的寿命对标国外产品，达到两年以上。而在设备价格上，相比德国一台清洗设备30万元(人民币，下同)左右的价格，团队研发的同类设备仅约15万至20万元。
彭姣表示，团队成员对此次创业很有信心。目前已经攻克了大尺寸直喷式、旋喷式等离子体清洗机在多通道放电、电极旋转带来的动平衡和动密封等多项难题。“下一步，我们计划实现大于20cm的等离子体清洗设备处理尺寸，满足市场对大尺寸的迫切需求。”
科研团队获「保姆式」培育
虽然彭姣团队的成员全部是科研人员出身，但是对于这次创业，他们却有着很大的底气和信心。因为从资金、办公场地、公司架构设置、人事运营等各个方面，蜀山区都给予了“保姆式”的扶持与帮助，解决了科研团队创业的后顾之忧。
目前团队所在的科学岛站是一个孵化平台，在这里可以免费获得办公场地。“办公地大概100平方米左右，我们可以免费使用3年，同时工作人员也在帮我们沟通厂房问题，届时也会有政府补贴。”此外，针对具备科研成果的创业团队，从合肥市政府和蜀山区政府都有配套的创业基金支持。彭姣团队已经获得合肥市200万元的创业基金。“这笔创业基金基本解决了我们初期的各项资金需求，今年团队还先后参加了安徽省市区的三个创业类大赛，都取得了不错的成绩，比赛奖金共计70多万元。”彭姣介绍说。
团队发展也获专业建议
而扶持创业的相关部门针对团队后续发展规划的帮助亦让团队受益匪浅。“尤其是公司架构方面，专业人士根据我们团队的发展情况给出建议，例如如何通过成立合伙公司和主体公司等形式，既保证了后续公司人员的扩张，又保护了原始创业团队的核心利益。”彭姣介绍，除此之外，当地政府相关部门还帮助团队进行销售资源的嫁接。“合肥市重点发展的芯片、新型显示、集成电路等产业都是我们的潜在客户，目前在政府的牵线搭桥下，团队已经与相关锂电池、存储器制造等企业建立了联系，企业已将我们的样机拿回去试用，反馈好的话，后续就可以直接进行国产化替代。”
（刘晓朦 詹伟伟）
